الفهرس 
IntroductionOnly 14 pages are availabe for public view
 |  | from | 131 |  |  |
| | | from | 131 | | |
Abstract
في الآونة الأخيرة ، أصبح التموضع النانومترى أحد أكثر التقنيات التي لا غنى عنها في العديد من التطبيقات الصناعية التي تتعامل بدورها مع مناولة الأشياء في المقاييس الدقيقة والمتناهية الصغر. يتم استخدام أنظمة التموضع النانومترية في عمليات التصنيع أو التوصيف التي يتحرك فيها الجسم نسبة إلى مسبار؛ بسبب دقة هذه الانظمة واحكام حركتها، والتي لايمكن تحقيقها بواسطة أنظمة التموضع التقليدية. ولكن، واحدة من أكبر العقبات التي تواجه أنظمة التموضع النانومترية التقليدية هي أن نطاق حركتها مقيد ببضع مئات من الميكرومترات فقط. ومن ثم فان زيادة نطاق الحركة إلى عدة سنتيمترات سيشكل طفرة في تكنولوجيا الهندسة الدقيقة، حيث يمكن ذلك من تصنيع وتوصيف أجسام أكبر تحتوي على عدد ضخم من الانماط الصغيرة. في هذه الرسالة، يتم تقديم نظام هجينى طويل المدى للتموضع النانومترى. يتكون هذا النظام الهجينى المقترح من آلية بانتوجراف طيّعة مكبِرة جديدة مقادة بواسطة محرك كهروضغطى مثبتة فوق منصة رئيسية طويلة المدى مقادة بواسطة عمود جر كروى. يمكن لهذه الآلية أن تعوض الخطأ الناجم عن المنصة الرئيسية المقادة بواسطة عمود الجر الكروى بالاضافة الى تحقيق مثل هذه المتطلبات من الدقة فى نطاق النانومتر في نفس الوقت. يُطرح النموذج الديناميكي للنظام بأكمله بالتفصيل إلى جانب نظام التحكم الخاص به. وأخيرًا، يتم عرض نتائج التجارب التى تم اجراؤها بالاضافة الى المحاكاه للنموذج الديناميكى المقترح ومقارنتها للتحقق من المبدأ.